表面塵埃粒子計數器SURFACE
SFP-QⅥ型是新一代的表面顆粒檢測儀
表面塵埃粒子計數器SURFACE
SFP-QⅥ型是新一代的表面顆粒檢測儀
優點
即時測量表面微粒
通過減少產品中的顆粒來提高產量
通過快速識別粒子源最大限度地縮短故障排除時間
輕松解決塵埃顆粒附著關鍵表面或產品上，減少因塵埃顆粒引起的降低產量和影響產品可靠性的問題，節省時間和成本
用于測量各種高潔凈度要求的產品，光學鏡片組件、液晶面板及超凈微環境受控的半導體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內的數量。本儀器的核心零部件（光學傳感器）及控制器等采用國內高性能的組件來保證該產品的測量精度。本儀器外殼采用SUS304不銹鋼制作，并經表面鈍化、電解處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學傳感器采用國內高精度傳感器，吸氣的氣泵為旋片式進口氣泵，并可通過流量傳感器來自動調節氣泵的運行流量，使其保持在一個穩定的檢測流量范圍內，表面測試探頭根據德國同類產品進行改良優良，并配有防靜電軟管與主機連接，其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內部濾材為進口，從而保證儀器的檢測精度及運行穩定性。表面粒子計數器由三部分組成：掃描取樣頭：取樣的同時可以提供一定壓力的吹掃氣流，可以集成操作控制器；激光塵埃粒子計數器主機：主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成；連接主機與掃描采樣頭的管道：包括取樣管道與吹掃管道。
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